测控设备(bèi)国产化改造 打造属于中国(guó)的测控设备

发表时间: 2021-09-06 11:30:38

作(zuò)者: 成都乐鱼网页版和朗锐芯科技发展有限公司(sī)

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    测控设备领域上我(wǒ)国始终落后与国外发达国家(jiā),先进设(shè)备(bèi)都(dōu)需要从(cóng)国外购(gòu)买,去年疫情贸易进出(chū)口的封(fēng)锁,让国内买不到国外(wài)先进设(shè)备而无法进行产品制造,也大(dà)多(duō)人明白将中国制造(zào)转变为中国“智”造迫在眉睫。而测控系统作为打造国之重器(qì)的重要技术装(zhuāng)备,其(qí)国(guó)产化(huà)进程更(gèng)是刻不(bú)容(róng)缓。


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    测控设备国(guó)产化,不仅可将用户需求体现在产(chǎn)品上,更多(duō)地提高(gāo)可用性(xìng),还(hái)能(néng)全面提高国(guó)产测控(kòng)设备的核心(xīn)竞争力,实现弯道超车。

虽(suī)前景光明,但测控设(shè)备的国(guó)产(chǎn)化绝非(fēi)易事,其包(bāo)括(kuò)系统级(jí)的(de)国产化、OS级的国产化(huà)和芯片级的国产化“三步走战略(luè)”,涉及软(ruǎn)件、硬件、算(suàn)法等众多层面,如何在(zài)保(bǎo)证系(xì)统(tǒng)功(gōng)能和可靠性的(de)同时,快速实现(xiàn)国产(chǎn)化、自主可控的测控系(xì)统,打(dǎ)造一张(zhāng)张闪亮的中(zhōng)国“智”造名片,成为各国(guó)内企业亟(jí)待解(jiě)决的难题。

    

    纵观半(bàn)导体的制造流程,晶(jīng)圆针测是非常重要(yào)的(de)一环。检(jiǎn)测晶圆的响应(yīng)参(cān)数进行特性分类,需通过电压(yā)输出激励待测晶圆,再由高速的模拟量监(jiān)测给(gěi)电过(guò)程(chéng)中的响应特性,同(tóng)时需要大量DiDo的开(kāi)关量控(kòng)制探针台位置。

    针对上述需求(qiú),为该晶圆针测环节(jiē)提(tí)供了一款具有16位(wèi)高分辨率和(hé)高(gāo)达1M的采集速度,并可(kě)同时输出两路波形(xíng)的高速采集与控制卡(PCIE-1816H),另外依(yī)据不同(tóng)的(de)数字控制(zhì)点选(xuǎn)配了多款控制卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基于三大维(wéi)度(dù),成功助(zhù)力晶圆检(jiǎn)测设备实现(xiàn)国(guó)产化。

在智能(néng)制(zhì)造(zào)的大趋势下,数控机床正向着高精度、高速度、高生产效率的方(fāng)向发展(zhǎn),这对机床(chuáng)的动(dòng)态特性提出了更高的要(yào)求(qiú)。此外,通过(guò)模态(tài)测(cè)试与分析建立机床的结构动力(lì)学模型,也成为优化(huà)机床设计(jì)与性能、及早发现潜在问(wèn)题的有效途径。

    对于(yú)机床的(de)模态分析(xī)而言,更是一项“精细(xì)活”。其主要是使(shǐ)用力锤、激振器或者激振台(tái)产生脉冲冲击,利用加速度传感器在多点进行同步响应信号的采集,再用数学分(fèn)析方法计算(suàn)机械结(jié)构的(de)固有振动(dòng)特性,每一(yī)个模态都有特定的固有频率、阻尼比和(hé)模(mó)态振型。这套系(xì)统此前(qián)一直由国外(wài)公司提供,不(bú)仅(jǐn)面临着市场供货(huò)不(bú)足的问题,其高昂的价格也让人望(wàng)而却步。

除此之外(wài),国外模(mó)态试验(yàn)系(xì)统也面临着技术瓶颈。为保证实验数据(jù)精度(dù)和(hé)振型辨(biàn)识要求,需(xū)要在数(shù)控机床的(de)主(zhǔ)轴、立柱和工作台布置几十个测点,每个测点采用XYZ三向(xiàng)加速度(dù)传感器,采集通道高达100路以上。国外系统的模态测试系统一(yī)般仅有32通道,只能采取分区测(cè)试的方法(fǎ),不(bú)仅非(fēi)常耗时,而且由于各区域的测试不是在同(tóng)一激励下(xià)进行的,后续分析(xī)计算也极(jí)为复杂。

针对数控机床模态试(shì)验,为客户量身打造了一套104通(tōng)道同步振动模(mó)态测试系统。该系统采用(yòng)13张PCIE-1803,每片PCIE-1803支持8路信号,共104路(lù),使用内部同步总线可实现纳秒级同步(bù)时间,误差小于100ns。

    此外通过增加主机系统,可以实现200通道以上(shàng)的同步(bù)采集。应变(biàn)片信号采集通(tōng)过2片PCIE-1813 实现,系统(tǒng)选用(yòng)IPC-623BP机箱配合PCE-7B17底板支持(chí)15片PCIE板卡(kǎ)。软件兼备(bèi)加速规传感器的灵敏度(dù)、供电(diàn)方式(shì)、耦合方式、采样频率等设置,同时具有(yǒu)数据采集、曲线显示(shì)和数据保(bǎo)存的功能,实为打造系统级国产化的(de)理(lǐ)想路径。有效解决了国外模态测试(shì)系统价格高、备件不(bú)足的弊端,保证了系统的精度和稳定性,在与客户的密切合作与(yǔ)快速(sù)服务中,高效完成国产化替(tì)代(dài)的进程

    测控设备国产化“三(sān)部曲”,第一曲(qǔ)“系统级(jí)国产化”已完美谢幕。放眼(yǎn)未来,国产化之路任重(chóng)道远,仍有诸(zhū)多挑战等(děng)待突破,等待我们探(tàn)索(suǒ)其背后的机遇(yù)。下一(yī)期(qī)“OS级国产化”,我们将(jiāng)带你揭(jiē)开中国操作(zuò)系(xì)统(tǒng)国(guó)产(chǎn)化的序幕,敬请(qǐng)关注!



测控设(shè)备国产化改(gǎi)造 打造属于中国的测控设备
虽前景光(guāng)明,但测控设(shè)备(bèi)的国(guó)产化绝非易(yì)事,其(qí)包括系统级(jí)的(de)国产化、OS级的国(guó)产化和(hé)芯片级的国产化“三步走战略”,涉及软件、硬件、算法等(děng)众(zhòng)多层面,如何在保(bǎo)证(zhèng)系统功(gōng)能和可靠性的同(tóng)时,快(kuài)速实(shí)现(xiàn)国(guó)产化、自主可控(kòng)的测控系统,打(dǎ)造一张张(zhāng)闪亮的中国(guó)“智”造名片,成为各国内企业亟待(dài)解(jiě)决的(de)难题。
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